日本西格玛中空型XY压电陶瓷平台SFS-120XY(WA)
特征:
- 它是一种具有50 x 50mm 通孔的高精度定位平台。
- 它采用压电陶瓷作为驱动器,并内置小位移传感器。
- 适用控制器为FINE-503。该控制器具有RS232C,GP-IB 和USB 接口。
- 可以很容易地通过计算机,利用我们独自开发的应用软件SGEMCS,SGTERMS,SGSFSX 进行控制。
- 此平台是显微镜用移动台,精密测量,表面结构分析,半导体测试装置,精密掩模及半导体晶圆的调整;扫描型干涉仪,高分辨率图像处理及生物系统等的理想选择。
- 不同类型的显微镜,有时其安装方法也有所不同。
- 在您垂询时,请一定告知我们您所用显微镜的制造厂商名称,型号以及物镜型号。
- 我们可以为您定做其它各种显微镜的连接用适配器。
规格:
开口部(mm) |
重量【kg】 |
理论分辨率(开环时)【nm】 |
分辩率(闭环时)【nm】 |
直线性误差(%) |
直线度水平方向Xy,Xz,Yx,Yz【um】 |
重复定位精度【um】 |
承载能力【kg】 |
微小变换检测 |
调节器 |
型号 |
台面尺寸(mm) |
50x50 |
1.2 |
1 |
10 |
0.3以下 |
1以下 |
0.1以下 |
2 |
数显检测 |
压电石英晶体 |
SFS-120XY |
120x120 |
因为汇率经常变动,以上产品价格只做参考!不做下单依据!请见谅!谢谢合作!
运营商:深圳市杉本贸易有限公司
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